锗单晶生长炉KX100-Ge-大连连城数控机器股份有限公司
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锗单晶生长炉KX100-Ge

锗单晶生长炉KX100-Ge-大连连城数控机器股份有限公司

  • 最优化的4-8英寸CZ法锗单晶生长方案
  • 领先的全数字控制系统
  • 先进的热场设计
  • 国际上锗晶体生长公司的首选

锗单晶生长炉KX100-Ge
Performance   性能  
Typical Ingot Diameter单晶直径 100-200 mm(4-8")
Pull Chamber Height 副室高度 1750 mm (69”)
Throat Diameter 喉口直径 305 mm (12”)
Furnace Diameter 炉室内径 865 mm
Seed Lift Rate 籽晶提升速率 0-508 mm/hr
Seed Jog Speed (Nominal) 籽晶快速提升速率(最大) 508 mm/min
Total Crucible Travel 坩锅最大行程 380 mm (15")
Crucible Lift Rate 坩锅提升速率 0-254 mm/hr
Crucible Jog Speed (Nominal) 坩锅快速提升速率(最大) 50.8 mm/min
Seed Rotation (Reversible) 籽晶旋转速率(可逆) 0-50 rpm
Crucible Rotation (Reversible) 坩锅旋转速率(可逆) 0-20 rpm




Germanium Charge Capacity   锗投料量
Hot zones are available to fit the following crucible sizes.  热场尺寸取决于坩锅直径
Crucible Diameter 坩锅直径 Crucible Height 坩锅高度 Charge Size 投料量
20.0 in 15.0 in 120 kg
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